电容式麦克风论文

基于MEMS技术的高灵敏度电容式麦克风的开发

一、基于微电子机械系统技术的高灵敏度电容式微传声器的研制（论文文献综述）石晶晶[1]（2019）在《MEMS矢量水听器的设计与性能优化》文中提出为了解决水下远场目标的检测以及安...